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上海添時科學儀器有限公司

PRODUCT DISPLAY

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6等離子清洗機

參  考  價：面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號:PDC-001

品       牌:

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時間：2025-03-11 15:02:19瀏覽次數(shù)：4344次

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PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機，其等離子腔體尺寸為 6“dia x 6.5“。特別適合對有機物和基片表面進行清洗，同時可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進行預處理，此款設(shè)備極為理想。
    PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機，其等離子腔體尺寸為6"diax6.5"。特別適合對有機物和基片表面進行清洗，同時可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進行預處理，此款設(shè)備極為理想。

    技術(shù)參數(shù)

 

輸入功率 

 

 AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 

 

輸出頻率

 

 13.56 MHz

 

功率
  • 低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 
  • 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 
  • 高檔740V DC 40 mA DC 30 W 

 

等離子腔體 

 

尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔體

 

真空泵和閥
  • 儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s, 
  • 泵上安裝有一個不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭

 

通入的氣體 

 

腔體中可以通入多種氣體，如N2, Ar, Air ，也可以通入多種混合氣體，以滿足實驗需要 ，不可以通入可燃性氣體進入等離子腔體中

 

可選配件
  • 如果基片的直徑為2"和4"，可以選購石英架，每個石英架上可以放25片
  • 數(shù)字式真空顯示計，可以精確顯示石英腔體內(nèi)的真空度

可選真空計

 
  • 可選本公司生產(chǎn)研發(fā)的電阻真空計
  • 此款真空計是以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下體現(xiàn)的熱傳導特性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器，特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空度測量。
      

 

外型尺寸

 

11" H x 18" W x 9" D 

 

細節(jié)圖

 

 

 

 

 

 

 

質(zhì)保期

 

一年質(zhì)保  ( 不包括石英腔體和密封圈) 

 

質(zhì)量認證

 

  CE Certified

 

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